
Chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses : fundamental mechanisms and application to IC interconnect technology
فرمت کتاب
print book
زبان
english
تاریخ انتشار
2002
شابک
978-1-4020-7193-5
کتاب های مرتبط
- اطلاعات
- دیدگاه کاربران
دیدگاه کاربران